用于航空航天应用的MEMS传感器

2019年，航空业对全球二氧化碳排放量的贡献为2.8%，空中交通是机场附近城市地区的主要噪声源。在冠状病毒危机之后，预计航空业将迅速复苏，而排放中性燃料预计在未来几年内不会盈利。因此，减少排放和噪音的目标只能通过气动设计、推进系统和非活动流量控制方面的创新来实现。外部噪声和客舱噪声的主要来源是飞机表面湍流边界层下的压力波动和发动机噪声。为了减少或消除这些影响，人们提出了新的概念，并对空气动力学和推进系统进行了广泛的研究。

分离和边界层条件的精确监测对于主动流动控制系统的发展至关重要，对于理解诸如过渡、分离和再附等流动现象具有重要意义。现有的测量方案不能满足要求。

为了克服这些限制，需要新型的高性能壁挂式mems传感器，用于未来降噪飞机的表面非定常压力和壁面剪切应力测量。



必须开发在带宽、灵敏度、动态范围和鲁棒性方面超过目前最先进性能的新型微型MEMS传感器，以在非常宽的频率范围内以非常高的空间和时间分辨率捕捉湍流边界层下的非定常压力波动。



-用于航空航天的MEMS传感器

-用于空气声学测量的MEMS传感器

-微型栅栏传感器

-麦克风传感器

-主动流量控制

-壁挂式MEMS传感器

-用于风洞测试和飞行测试的MEMS传感器

-集成传感器阵列

-用于恶劣环境的传感器